Sputtertargets aus hochreinem Titan

Sputtertargets aus hochreinem Titan

1. Kerninnovation: Reinheit und Leistung neu definiert​

• Produktname: Ultra-Hoch-Sputtertargets aus Titan (Klassen Gr1–Gr12)
• Reinheits-Benchmark:
• Titangehalt: Größer oder gleich 99,95 % (ASTM B348)
• Verunreinigungskontrolle: <0.02% (O, N, C ≤0.005%; Fe ≤0.01%)
• Dichte: 4,51 g/cm³ (±0,02)
• Warum das wichtig ist:
• Filmintegrität: Sub-ppm impurity levels eliminate voids and inclusions, ensuring uniform film thickness (±2%) and adhesion strength (peel test >50 MPa).
• Kornstruktur: 50–100 μm große gleichachsige Körner (REM-verifiziert) reduzieren die Lichtbogenbildung und verbessern die Stabilität der Sputterrate um 30 %.
• Technischer Vorsprung:
• Vakuuminduktionsschmelzen: Ausgangsmaterial mit einer Reinheit von 99,999 %, geschmolzen unter einem Vakuum von 10⁻³ Pa.
• Heißisostatisches Pressen (HIP): 1.200-Grad-/200-MPa-Behandlung zum Schließen der Poren<5 μm.
• CNC-Präzisionsbearbeitung: Toleranzen ±0,05 mm für kritische Abmessungen (z. B. Zieldicke).

2. Anwendungsspezifische-Lösungen​

2.1 Halbleiterfertigung​

Waferbeschichtung: Gr1-Targets (99,5 % Ti) für dielektrische Gate-Schichten (Oxid/Nitrid-Grenzflächen).

Fallstudie: Reduzierte Partikelkontamination beim Sputtern von 300-mm-Wafern um 80 %.

2.2 Optische Beschichtungen​

Antireflexionsfolien: Gr5 (Ti-6Al-4V)-Targets für UV/IR-Optiken (Brechungsindexkontrolle: n=2.2–2,6).

UV-C-Linsen: Erreicht 99,8 % Transmission im Bereich von 200–400 nm.

2.3 Energiespeicher​

Festkörperbatterien: Gr7 (Ti-0,2Pd)-Targets für Festelektrolyt-Grenzflächen (Ionenleitfähigkeit: 10⁻³ S/cm).

2.4 Fortschrittliche Elektronik​

Flexible Schaltkreise: Gr12 (Ti-0,3Mo-0,8Ni)-Targets für dehnbare Leiterleitungen (Dehnungstoleranz: 300 %).

3. Qualitätssicherung und Compliance​

Zertifizierungen:

• ISO 9001: Vollständige Rückverfolgbarkeit vom Rohmaterial bis zum fertigen Produkt.
• ASTM B381: Beständigkeit gegen Wasserstoffversprödung<200 kPa.
• RoHS/REACH: <100 ppm restricted substances.

Testprotokolle:

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